[机械资料] 等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展

说明： 等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展王巍 一．(1．重庆邮电学院光电工程系，叶甜春 ，刘明重庆400065；2．中国科学， 陈大鹏院微电子研究所， 北京100029)摘要：先进过程控$1J(APC)是一个多层次的控制系统，其包含了实时的设备及工艺控制和非实时的RtR控制。APC引入等离子体刻蚀过程控制可极大提高刻蚀机的使用效率。针对等离子体刻蚀过程，本文分别从实时控制和RtR控制两个不同层次展开了论述，概述了RtR控制器中所使用的线性回归模型和神经网络模型。最后，讨论了APC 技术的发展趋势。
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[机械资料] 电液伺服系统内模控制

说明： 电液伺服系统内模控制赵志诚1,2，刘志远 ，张井岗2(1．哈尔滨工业大学控制科学与工程系，哈尔滨150001；2．太原科技大学自动化系，太原030024)摘要：针对电液位置伺服系统，提出了一种内模控制器设计方法。内模控制作为一种先进控制策略，其设计思路是将对象模型与实际对象相并联，控制器逼近模型的动态逆。考虑到内模控制对系统模型精度要求不高的特点，本文降阶简化了电液伺服系统的模型。基于此模型所设计的控制器，只有一个可调参数，且该参数直接与系统的动态特性和鲁棒性相关，整定方便，避免了控制器整定的
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[机械资料] 动态矩阵控制器设计及应用

说明： 动态矩阵控制器设计及应用
<fang*****> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 冶金机械润滑技术

说明： 冶金机械润滑技术
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[机械资料] 液压设备检修与维护技术

说明： 液压设备检修与维护技术
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[机械资料] 焊接工艺常识-机械制造基础

说明： 一、电弧焊工艺常识二、焊条电弧焊三、特种焊接工艺方法四、金属材料的焊接性五、焊接结构设计六、连接技术
<bjz****> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 现代电机控制技术教程

说明： 现代电机控制技术第1章基础知识第2章三相感应电动机矢量控制第3章三相永磁同步电动机矢量控制第4章三相感应电动机直接转矩控制第5章三相永磁同步电动机直接转矩控制第6章无速度传感器控制与智能控制
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[机械资料] 机械(机构)设计技术集

说明： 机械(机构)设计技术集
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[机械资料] 典型车加工零件的工艺分析与数控加工

说明： 典型车加工零件的工艺分析与数控加工王强( 沙洲职业工学院, 江苏张家港215600)摘要: 通过对批量典型车加工零件的精度和形位公差要求进行分析, 制定出合理的加工工艺及采用合适的夹具, 用CNC 车床加工出符合图纸要求的工件。关键词: 精度; 形位公差; 工艺分析; 夹具; CNC 车床
<missth******> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 考虑摩擦力时的齿轮系统动力学分析

说明： 考虑摩擦力时的齿轮系统动力学分析
<ctt****> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 齿轮传动系统动力学的计算机仿真研究

说明： 齿轮传动系统动力学的计算机仿真研究
<het****> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次

[机械资料] 冷挤压模具设计与制造_洪慎章讲座

说明： 《冷挤压模具设计与制造》讲座（连载）洪慎章上海交通大学
<shlsh*****> 在 2019-02-27 上传 | 大小： | 下载0次