高端制造装备关键技术的科学问题杨叔子, 丁汉, 李斌( 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室, 湖北武汉430074)摘
要: 分析了高端制造装备的国家重大需求和面临的发展机遇, 讨论了现阶段高端数控机床和极大规模集成电路制造装备研发的主要任务, 通过分析这两类高端制造装备的研究现状与发展趋势, 总结出了高性能运动控制、高速高精度驱动、装备与工艺动态交互作用、精密加工的环境控制四方面的关键科学问题。关键词: 高端制造装备; 高端数控机床; 大规模集成电路制造装备; 发展趋势; 科学问题

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