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说明: MEMS压电-磁电复合式振动驱动微能源的设计,资料为PDF文档格式.<大泉***> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次
[自动化论文] MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
说明: MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较,资料为PDF文档格式.<xiao7*****> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次
[自动化论文] MEMS光纤法珀压力传感器的设计及解调方法实现
说明: MEMS光纤法珀压力传感器的设计及解调方法实现,资料为PDF文档格式.<tcxqbd@*******> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次
[自动化论文] MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究
说明: MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究,资料为PDF文档格式.<wxx718******> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次
[自动化论文] MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化
说明: MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化,资料为PDF文档格式.<王丽强****> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次
[自动化论文] MEMS仿生矢量水听器封装结构的设计与研究
说明: MEMS仿生矢量水听器封装结构的设计与研究,资料为PDF文档格式.<caf****> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次
[自动化论文] MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
说明: MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展,资料为PDF文档格式.<42955601********> 在 2017-07-13 上传 | 大小: | 下载0次