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说明: 微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器,资料为PDF文档格式.<tianwan*******> 在 2019-05-23 上传 | 大小: | 下载0次
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说明: 微拉伸测试系统中PZT微驱动器的设计与实现,资料为PDF文档格式.<qigui1*******> 在 2019-05-23 上传 | 大小: | 下载0次
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说明: 微摩擦测试中双平行簧片结构弹性元件的设计,资料为PDF文档格式.<lqjl*****> 在 2019-05-23 上传 | 大小: | 下载0次